勻膠機是在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于該機的轉速和溶膠的黏度。采用觸摸屏設置可用于直徑28-200mm晶片涂覆，儀器配有“安全開(kāi)關(guān)按鈕”轉速范圍300-8500RPM，可選無(wú)油或有油真空泵等配件。
近年來(lái)的發(fā)展趨勢是在自動(dòng)工作方式的勻膠機中加入預涂增粘劑(HMDS)的冷板和熱板工藝模塊，以增強光刻膠和晶片的附著(zhù)力。為了提高生產(chǎn)率，國外已經(jīng)研制出多種工藝模塊任意組合的積木式結構，有的還帶有膠膜自動(dòng)測量和監控裝置。
應用：
該設備主要用于晶片涂光刻膠，有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。
從其原理來(lái)說(shuō)它有以下兩個(gè)特點(diǎn)：
(1)旋轉速度
轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。目前轉速控制方面有國際認定標準，如美國NIST標準等。
(2)真空吸附系統
真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會(huì )讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，當真空吸附力不夠時(shí)不會(huì )開(kāi)始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統。
總的來(lái)說(shuō)，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
