紫外臭氧清洗機是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數無(wú)機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。它常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用,該設備能用于清洗原子力顯微鏡探針,掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無(wú)機材料,也能用來(lái)改變物體表面的疏水性,有助于部件和表面的化學(xué)改性,經(jīng)過(guò)氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過(guò)程中保持探針的幾何形狀,削尖的探針有利于提高側向分辨率。
臭氧清洗機設備已經(jīng)用于納米技術(shù),化學(xué),生物學(xué),光學(xué),電子學(xué),半導體和其他全球范圍內的科學(xué)實(shí)驗室。
紫外臭氧清洗機的特點(diǎn):
1、UVO基礎型采用可編程數字控制器,設置操作簡(jiǎn)單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
2、自動(dòng)補償功能,自動(dòng)恒定光強光密度,不會(huì )因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數字倒計時(shí)顯示清洗時(shí)間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時(shí)間。
4、可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過(guò)程。
5、自動(dòng)記錄之前清洗參數設置。
6、樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)蓋方式,操作簡(jiǎn)單方便。
8、上置式樣品臺設計,360度自由放置樣品,操作方便。
9、樣品臺高度可調,通過(guò)調節燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
10、UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時(shí)。
11、高強度UV燈源,波長(cháng)185nm和254nm。
12、UV反射罩(長(cháng)x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13、雙重安全保護,當清洗腔打開(kāi)時(shí),系統安全鎖會(huì )關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。
14、帶進(jìn)&出氣口雙氣路設計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。
15、UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器,用于臭氧清除。
16、可根據客戶(hù)要求定制鋁或石英材料真空反應腔。