經(jīng)常都會(huì )有朋友咨詢(xún)等離子清洗機的等離子體溫度問(wèn)題，主要原因是擔心等離子清洗機在處理產(chǎn)品或工件時(shí)，因等離子體溫度過(guò)高損傷材料表面。其實(shí)啊，大家感受到的是等離子體的氣體溫度Tg，而等離子體溫度應該包括以下內容：

　　從宏觀(guān)角度來(lái)看，溫度是物體冷熱的程度，而從微觀(guān)角度，溫度是粒子運動(dòng)的量度，溫度越高粒子平均動(dòng)能越大，反之亦然。等離子體中常直接用粒子的平均能量來(lái)表征溫度，當一個(gè)電子（荷電量為1.6×10-19庫侖）在電場(chǎng)中通過(guò)電位差為1伏特區間時(shí)，電子從電場(chǎng)中獲得的能量為W=1eV，1eV=1.6×10-19庫侖×1伏特=1.6022×10-19焦耳，1eV對應的溫度是11600K（開(kāi)氏溫度；開(kāi)爾文）。

　　等離子主要是通過(guò)粒子間碰撞來(lái)相互傳遞能量，達到熱力學(xué)平衡，但各類(lèi)粒子之間碰撞幾率是不相等的，因而傳遞能量也是不相等的。一般同類(lèi)粒子之間碰撞幾率比較大，能量傳遞有效，容易通過(guò)碰撞達到平衡狀態(tài)，它們各自服從麥克斯韋分布具有各自熱力學(xué)平衡溫度，如電子-電子碰撞達到熱力學(xué)平衡具有一定的溫度Te，叫電子溫度。離子-離子碰撞達到熱力學(xué)平衡具有一定溫度Ti，叫離子溫度，但電子和離子之間由于兩者質(zhì)量相差懸殊，雖然也發(fā)生碰撞，但并不一定能達到平衡，所以Te和Ti不一定相同

　　若放電是在接近于大氣壓的高氣壓條件下進(jìn)行，那么電子、離子、中性粒子會(huì )通過(guò)激烈碰撞而充分交換動(dòng)能，從而使等離子體達到熱平衡狀態(tài)。

　　若電子、離子、中性粒子（中性氣體）的溫度分別為T(mén)e，Ti，Tn，我們把這三種粒子的溫度近似相等（Te≈ Ti ≈ Tn）的熱平衡等離子體，稱(chēng)為熱等離子體(thermal plasma)，在實(shí)際的熱等離子體發(fā)生裝置中，陰極和陽(yáng)極間的電弧放電作用使得

　　流入的工作氣體發(fā)生電離，輸出的等離子體呈噴射狀，可用作等離子體射流（常壓射流等離子體plasma jet）、等離子體噴焰（plasma torch）等。

　　另一個(gè)方面，幾百帕以下的低氣壓等離子體常常處于非熱平衡狀態(tài)，電子在與離子或中性粒子的碰撞過(guò)程中幾乎不損失能量，所以有Te>>Ti，Ti>>Tn。我們把這樣的等離子體稱(chēng)為低溫等離子體（冷等離子體cold plasma）。低溫等離子體是工業(yè)應用中應用廣泛的等離子體，常見(jiàn)的就有真空（低壓）等離子清洗機。